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    • 硅压阻式MEMS振动传感器

      硅压阻式MEMS振动传感器

      分类 :传感器

      产品编号:1609405041

      浏览次数:2505

      关键词 :视觉传感器加速度传感器MEMS振动传感器

      MEMS加速度计是MEMS领域较早开始研究的力传感器之一。经过多年的发展,MEMS加速度传感器的设计和加工技术已经日趋成熟。根据敏感机理不同 ,MEMS加速度传感器可以分为压阻式、热流式 、谐振式和电容式等。压阻式MEMS加速度传感器容易受到压
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